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hanc1202

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[求助] 多弧离子镀膜的迟滞现象與制备SiO2疑問

多弧离子镀膜
1.是否有类似磁控反应溅射的迟滞现象？
2.有用多弧离子镀制备SiO2 二氧化硅吗?
以上是否有相关文献可参考？
新手入门恳请指导谢谢

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1楼 2015-01-25 21:35:23

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