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freeman3

铁虫 (小有名气)

[交流] ICP-MS求助,急!!!

请问各位虫友,我现在需要分析我的薄膜里面是否含有痕量的污染(薄膜是非晶SiO2,可能污染物是Fe,Ni,Cu,但XPS和EDS下面检测不出,说明含量在千分之一以下,)。查相关资料说ICP-MS的精度很高(ppm-ppq级别),因此想利用这个去表征。不知道辽宁地区或者北京,那些单位有这个设备呢?
比较着急,请各位虫友不吝指教!~

谢谢
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