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zerg_so

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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注册: 2010-10-10
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专业: 碳素材料与超硬材料

[求助] CVD沉积SiC尾气处理

实验室沉积SiC尾气端总是堵塞，是什么原因？如何解决？

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1楼 2015-01-18 14:08:22

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wtm_AE

金虫 (小有名气)

应助: 5 (幼儿园)
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红花: 2
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性别: MM
专业: 有机高分子功能材料

【答案】应助回帖

您的前驱体材料是什么？纯度怎么样？有无杂质？

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QQ：1723046531

2楼2021-07-08 15:13:59

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