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ivansdk

木虫 (正式写手)

优秀版主

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3楼: Originally posted by ybsyh3 at 2015-01-15 16:23:47
这个用过,就是那种SEM制样用的离子溅射仪,但这样对样品表面是不是有损伤,之前这样弄过,显微镜下发现样品似乎被打掉了些...

可以降低真空度,用小电流进行较长时间的溅射。
10Pa,3mA,20min左右。
同时样品要离靶材远一些。
莫问前程
4楼2015-01-16 09:33:40
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ivansdk

木虫 (正式写手)

优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以使用真空离子溅射一层金作为电极
莫问前程
2楼2015-01-15 16:20:36
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匿名

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3楼2015-01-15 16:23:47
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匿名

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5楼2015-01-16 10:02:07
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