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szhwzzj

银虫 (初入文坛)

[求助] 怎样制作50纳米线宽的光栅条纹啊!已有1人参与

各位大神,怎样能制作出线宽为50nm的光栅条纹啊,周期在100你们-10um范围均可,面积100um*100um!希望各位不吝赐教,谢谢啦!
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
深紫外、电子束、纳米压印
2楼2015-01-13 21:00:31
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