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青草甲虫

新虫 (初入文坛)

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[交流] 多晶制绒后酸碱残留导致扩散方阻降低

多晶制绒后，在三个硅片上分别滴了一滴酸、碱、水，待自然晾干后，进行正常工艺扩散，扩散后，测方阻，比正常值下降了很多，为什么？

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1楼 2015-01-12 17:31:51

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