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[求助]
求指点，Si/SiO2/Cr/Au/Ti 700°氧气氛围下处理会发生Au和Ti的相互扩散或反应吗？
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求大神指点迷津！ Si晶圆片处理成Si/SiO2/Cr/Au/Ti 衬底后在700°氧气氛围下处理30min，会发生Au和Ti的相互扩散或反应吗，Au会不会扩散到表面，或者是Au和Ti在表面生成合金呢！希望大家不吝指教，谢谢。 |
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2楼2022-01-04 10:44:07