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daquan

木虫 (正式写手)

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[交流] 缓蚀剂的电化学阻抗（EIS）评价

缓蚀剂的电化学阻抗（EIS）评价,是比较电荷转移电阻Rct，还是比较缓蚀剂的膜电阻Rf，两者哪个对应高频区，那个对应于低频区？空白电极有膜电阻Rf吗？

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1楼 2008-05-28 07:26:26

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ylzhang601

至尊木虫 (著名写手)

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一般地，应该比较Rct。阻抗半圆所在的频率范围决定于半圆的时间常数RC（=1/w)。由于缓蚀剂的膜的电容是几何电容，数值较小，大概在零点几个法拉到几个法拉/cm2，而电荷迁越的电容是电化学双层电容，数值在20~40法拉/cm2，所以大部分缓蚀剂的膜的半圆在高频区。你可以通过半圆的电容值确定其对应于缓蚀剂膜还是电荷迁越过程。