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clxyymj

铁虫 (初入文坛)

[求助] MOCVD生长GaN的载气是氢气还是氮气? 已有1人参与

各路大神,我想请问MOCVD法的载气对GaN生长是否有影响?现在是用氢气还是氮气做载气?分别是如何影响GaN生长的?
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k0ngjkia

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
clxyymj(fatewu代发): 金币+3 2015-01-31 18:56:54
1.载气对GaN生长有影响而且比较复杂
2.具体选择得根据你实验室设备的状况,有使用混合载气的。
3.根据文献里的报道,氢气载气生长的GaN的表面比较平整,结晶质量好于用氮气载气,但是残余应力要高一点。
2楼2014-12-16 23:26:23
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