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流泪的沙砾铁杆木虫 (正式写手)
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[求助]
涂层中AlN相和SiN相氧化时哪个更稳定？？
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| 请教各位虫友，我沉积制备了AlSiON涂层，含有AlN（Al）、SiN、Al2O3和SiO2相，Al、Si原子比基本为1:1。经过750℃，100h的恒温氧化后，XRD检测发现氧化后涂层中只含有AlN相、大量的纯Si相。涂层中SiN先于AlN生成，氧化时按道理SiN比AlN更稳定啊，应该是AlN先被氧化啊，结果为Al2O3和SiN才合理啊，怎么SiN先被夺走了N生成了Si 呢。麻烦各位指教，必有重谢！！！ |
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