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sodium_82

新虫 (初入文坛)

[求助] 椭偏仪显示BAD A2,A4,?

椭偏仪显示BAD A2,A4,?08+089.24+089.84是怎么回事啊,怎样解决呢。测试的是二氧化硅厚度,大约2000埃。

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[ Last edited by sodium_82 on 2014-12-8 at 15:40 ]
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Maxmind

金虫 (小有名气)

这个bad肯定是说拟合吻合度低,后面A2是什么,一般硅片是最容易的吧

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2015-02-12 12:32:47
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