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fyer0

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射技术的高人请帮一下忙,小妹不胜感激已有3人参与

磁控溅射镀氮化钛TiN薄膜,在镀一段时间后为什么在钛靶表面上老是出现一层白白的膜
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Jove4530

金虫 (小有名气)


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应该是钛氧化成了氧化钛,出现了靶中毒现象!!!

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每天进步一点点,再坚持一天!
2楼2014-11-22 08:45:31
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xsz2013

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by Jove4530 at 2014-11-22 08:45:31
应该是钛氧化成了氧化钛,出现了靶中毒现象!!!

怎么样有效防止靶中毒呢?请教下,谢谢了
3楼2014-12-25 16:23:44
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shunsun

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by xsz2013 at 2014-12-25 16:23:44
怎么样有效防止靶中毒呢?请教下,谢谢了...

避免不了,因为靶中毒时存在的。在下次使用时先自清洗靶材,减少影响就可以了!
糟心的工作!!!!!!!!!!!!
4楼2015-01-08 10:29:56
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