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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 学术交流区 » 论文投稿 » 交流 » 晶体硅表面钝化
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dulong107

金虫 (小有名气)

[交流] 晶体硅表面钝化

有研究晶体硅表面钝化的虫友嘛？！具体做原子层沉积Al2O3薄膜的。。。
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1楼 2014-11-19 18:30:08
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zhaoyt19798595

铁杆木虫 (正式写手)
氧化铝现在主要是PECVD方式和ALD方式，各有优缺点。
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4楼2019-06-18 22:37:53
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般木

铁杆木虫 (著名写手)

我是傻子
★
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你是做电池，还是只是研究钝化效果？
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天若有情天亦老，人间正道是沧桑。
2楼2014-11-19 19:53:01
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zhaoyt19798595

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你应该是做晶体硅电池的吧，最近氧化铝钝化的PERC电池挺火。
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3楼2019-06-18 22:36:46
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