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chuntian_abc

银虫 (小有名气)

[求助] MOS级试剂的检测方法

MOS级试剂是“金属-氧化物-半导体”专业特种化学试剂,一般用于半导体,对金属杂质和尘埃要求比较高,尘埃等级在0-2ppb。请问有没有简单有效的检测方法和仪器检测其金属杂质以及尘埃度?生产上又是如何检测的
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