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chuntian_abc银虫 (小有名气)
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MOS级试剂的检测方法
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| MOS级试剂是“金属-氧化物-半导体”专业特种化学试剂，一般用于半导体，对金属杂质和尘埃要求比较高，尘埃等级在0-2ppb。请问有没有简单有效的检测方法和仪器检测其金属杂质以及尘埃度？生产上又是如何检测的 |
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