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【求助】离子束溅射铜膜有什么特点?溅射速率均均匀吗?
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离子束溅射铜膜速率如何? 测量膜厚有什么好的方法? 200nm以内厚度测量，我试了扫描电镜和原子力,测的很不准，怎么办？ 请各位高手帮帮忙！！ [ Last edited by SHY31 on 2008-5-23 at 18:50 ] |
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