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用plasma处理AFM探针之后,悬臂梁就没法反光了。
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| 修饰AFM探针,用plasma处理之后,悬臂梁就没法反光了。将激光光斑调整到悬臂梁上,光电接收器接收不到激光信号,我们怀疑是悬臂梁背面镀层被破坏(在AFM附带的正置显微镜下观察,悬臂梁发黑)。而且在显微镜下从侧面观察悬臂梁,还发现悬臂梁发生弯曲。请问有谁遇到过这种情况吗?该调整哪些参数才能避免这种情况发生? |
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