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greatheart

金虫 (小有名气)

[求助] 显影的时候显影液用错了,图形表面生成了灰黑色残留物,怎么去除? 已有3人参与

光刻时采用的是AZ胶,显影用了NaOH(BP胶显影液)!
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是不是碳化了啊?可以先用等离子去胶机打一下,不行的的话用浓硫酸和双氧水煮一下。
2楼2014-10-16 14:41:39
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mxl198616

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

同意楼上的说法,可能碳化,可什么是BP胶?用这么强的显影液
3楼2014-10-21 08:18:24
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主

【答案】应助回帖

楼主是要 保留图形并去掉黑点 还是直接漂白
前者 似乎无药可救啊
用 醋酸溶液 超声一下试试吧
sunyu730_emuch@126.com
4楼2014-10-21 09:47:37
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