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硅纳米线 已有1人参与
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小弟最近开始做硅纳米线,仿照北师大的彭奎庆的那种MCEE的方法,先沉积银颗粒作催化剂,然后用Fe离子刻蚀。 条件为室温下,HF:AgNO3=4.6M:0.01M,从一分钟到半个小时不等。再直接放入HF:Fe(NO3)3=4.6M:0.135M,半小时或一个小时 最后超声去除表面物质 要么刻出来杂乱无章,要么就是依旧完全光滑。求教,不知道有没有前辈做过的? |
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waitUbluesky
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