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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 基础物理 » 射频等离子体产生起辉的条件
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1107898059

铜虫 (小有名气)
请问你们的射频等离子体源是从哪里采购的，我想在相对较低的温度下对催化剂进行Ar气氛或者Ar/H2气氛下的等离子热处理，请问这个等离子体源是加到炉子石英管的外侧还是放置到石英管里面，抑或是会有配套的加热装置；导师让我进行这方面的调研，但是现在不是很了解，望不吝赐教， 谢谢！！！
我们实验室现在有可以抽真空然后通气体的管式炉，可以在此基础上进行改造吗？
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自信 努力
11楼2015-12-01 12:58:38
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waterque

金虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 1107898059 at 2015-12-01 12:58:38
请问你们的射频等离子体源是从哪里采购的，我想在相对较低的温度下对催化剂进行Ar气氛或者Ar/H2气氛下的等离子热处理，请问这个等离子体源是加到炉子石英管的外侧还是放置到石英管里面，抑或是会有配套的加热装置； ...

我们实验室用的是装在超高真空的设备上用的，所以跟你要的情况有一些不同。不过原理基本上是 一样的，线圈绕在陶瓷（石英）管外，在线圈中通入射频源，激发电离管内的气体产生等离子体。

管式炉的情况，可以在入气口的一侧加上射频线圈，接上射频电源，其中需要接入射频匹配电路（这个比较关键）。具体的你可以查阅相关的文献。比如PECVD的文献 （plasma enhanced chemical vapor deposition）
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行自己的路：waterque@hotmail.com
12楼2015-12-02 18:32:40
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