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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 基础物理 » 射频等离子体产生起辉的条件
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waterque

金虫 (正式写手)

[求助] 射频等离子体产生起辉的条件 已有4人参与

实验室新购进超高真空用的射频等离子体源，自动调谐，反射功率经调谐后为0-1W。测试之时试了很多参数均不能产生等离子体（气源为掺5%Ar的H2，不能起辉），可有这方面的专家，给我们支招，谢谢。

射频等离子体源的大致结构是：线圈绕在一个PBN放电管的外面，气体流经放电管。
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行自己的路：waterque@hotmail.com
1楼 2014-10-02 10:59:31
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waterque

金虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 1107898059 at 2015-12-01 12:58:38
请问你们的射频等离子体源是从哪里采购的，我想在相对较低的温度下对催化剂进行Ar气氛或者Ar/H2气氛下的等离子热处理，请问这个等离子体源是加到炉子石英管的外侧还是放置到石英管里面，抑或是会有配套的加热装置； ...

我们实验室用的是装在超高真空的设备上用的，所以跟你要的情况有一些不同。不过原理基本上是 一样的，线圈绕在陶瓷（石英）管外，在线圈中通入射频源，激发电离管内的气体产生等离子体。

管式炉的情况，可以在入气口的一侧加上射频线圈，接上射频电源，其中需要接入射频匹配电路（这个比较关键）。具体的你可以查阅相关的文献。比如PECVD的文献 （plasma enhanced chemical vapor deposition）
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行自己的路：waterque@hotmail.com
12楼2015-12-02 18:32:40
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主请给出你们尝试放电的气压、入射功率等具体参数，只给出反射功率小并不能说明你的入射功率全部加载到目标负载上面了，也可能将射频电缆当做负载，楼主请检查是否出现电缆发热现象！
据我所知，氢气的电离能相对较高，楼主是否将试图放电的气压调得太低（真空度太高）。可以分步进行，首先尝试纯Ar放电，一般相对较容易！然后再尝试通入氢气，并从高气压譬如说1-2Pa开始往下试试。
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2014-10-02 13:30:44
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waterque

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2014-10-02 13:30:44
楼主请给出你们尝试放电的气压、入射功率等具体参数，只给出反射功率小并不能说明你的入射功率全部加载到目标负载上面了，也可能将射频电缆当做负载，楼主请检查是否出现电缆发热现象！
据我所知，氢气的电离能相对 ...

放电气压应该说确实比较低，因为是在超高真空的腔体里面测试，气流设为 3sccm时大概是10^-3 ~ 10^-4 mbar, 也就是10^-1 ~ 10^-2 Pa，功率试过200, 250 W，均有过测试。
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行自己的路：waterque@hotmail.com
3楼2014-10-02 14:14:03
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waterque

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2014-10-02 13:30:44
楼主请给出你们尝试放电的气压、入射功率等具体参数，只给出反射功率小并不能说明你的入射功率全部加载到目标负载上面了，也可能将射频电缆当做负载，楼主请检查是否出现电缆发热现象！
据我所知，氢气的电离能相对 ...

功率应该是加载放电管附近了，因为放电管外面的腔壁时间长了，会有点发烫，其他地方不会，匹配器接在法兰外，距离射频线圈很近，中间几乎没什么线缆。
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行自己的路：waterque@hotmail.com
4楼2014-10-02 14:20:49
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