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化学气相沉积(CVD)合成纳米材料
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主要内容有: 1. 化学气相沉积技术的简单介绍 2. 化学气相沉积中典型的化学反应 3. 化学气相沉积反应的装置及技术 4. 源物质 5. 气态物种的输运 欢迎讨论 |
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2楼2008-04-26 09:54:50