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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 真空镀膜--粗抽
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迫不得已

银虫 (小有名气)

[求助] 真空镀膜--粗抽 已有1人参与

经常抽真空时，刚开始抽的较低，可是过一会真空度又回升，这是啥原因啊？真空室没有加热。
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我就是我，颜色不一样的烟火
1楼 2014-09-19 09:52:44
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
迫不得已: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-09-22 08:40:21
引用回帖:
3楼: Originally posted by 迫不得已 at 2014-09-21 19:32:37
这个之前有试过，不稳定的，即使前天加热，后天在用也会发生这种现象的，几乎每次都会有这现象。...

先拿氦检仪检一下漏咯，不行再检修泵看看
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4楼2014-09-21 23:02:04
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
迫不得已: 金币+5, ★有帮助 2014-09-21 19:32:36
真空度低了之后有东西气化或者是孔隙结构中吸附的气体出来了吧。
清洁腔室再加热处理一下应该能搞定
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2楼2014-09-20 11:31:26
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迫不得已

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 巴巴罗萨 at 2014-09-20 11:31:26
真空度低了之后有东西气化或者是孔隙结构中吸附的气体出来了吧。
清洁腔室再加热处理一下应该能搞定

这个之前有试过，不稳定的，即使前天加热，后天在用也会发生这种现象的，几乎每次都会有这现象。
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我就是我，颜色不一样的烟火
3楼2014-09-21 19:32:37
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迫不得已

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 巴巴罗萨 at 2014-09-21 23:02:04
先拿氦检仪检一下漏咯，不行再检修泵看看...

嗯嗯，多谢。
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我就是我，颜色不一样的烟火
5楼2014-09-22 08:40:22
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