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瀚海碧空

新虫 (初入文坛)

[求助] 有知道国内有能够刻蚀氮化铝薄膜的单位吗?已有3人参与

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
IBE什么都能刻啊,去纳米所问问看
2楼2014-09-16 21:38:25
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zhuquanfa

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

北大的MEMS不是很牛嘛!据说那里的工艺很全面,你可以问问!上海微系统所应该也可以!
把平凡的日子过好就是不平凡!
3楼2014-09-20 10:46:45
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dlc2008

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

重庆大学可以做,重庆大学现在能够自己制备,图形化AlN并加工成相应的器件
4楼2014-09-20 17:50:44
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