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xunmengyuan

禁虫 (正式写手)
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1楼 2014-09-11 16:34:01
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whywhy01

金虫 (小有名气)

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★ ★ ★ ★ ★
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xunmengyuan: 金币+5, ★有帮助 2014-09-11 18:36:28
可能是氧化铝有部分结晶。硅片一般都是强度很强的窄峰
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2楼2014-09-11 18:03:23
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xunmengyuan

禁虫 (正式写手)
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3楼2014-09-11 18:28:17
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zymanmanlai

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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xunmengyuan: 金币+5, ★有帮助 2014-09-11 21:34:33
峰位是你要的，但强度太低，可能与XRD的具体操作有关。但是不知道你的XRD仪器型号，所以这些信息暂缺，那就换台机器换个人给你做做看，如果还这样就是样品问题，如果有改善你就看看具体参数。
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4楼2014-09-11 20:45:58
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xunmengyuan

禁虫 (正式写手)
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5楼2014-09-11 21:34:11
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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xunmengyuan: 金币+10, ★有帮助 2014-09-12 14:20:02
因为表面有IGZO和Al2O3薄膜的存在，对X射线有吸收散射等，所以探测器收到光强就非常弱了。
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6楼2014-09-12 13:39:59
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whywhy01

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
xunmengyuan: 金币+5, ★有帮助 2014-09-12 17:52:55
一般来说200nm的非晶氧化物对于基片峰的削弱是比较小的。可以试一试在水平面内旋转薄膜，如果是基片峰的话，在某一些方向上峰可能会消失
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7楼2014-09-12 16:53:29
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xunmengyuan

禁虫 (正式写手)
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8楼2014-09-12 17:52:35
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whywhy01

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by xunmengyuan at 2014-09-12 17:52:35
是不是因为择优取向造成的？旋转方向是不是就是为了调整取向？  类似这样的样品做了好多次XRD，都是在69这个地方出现类似的这样的峰。...

这个很难解释，我也只是在实验中发现了这个现象。有一些基片峰是可以通过这种方法消除的，有一些不行，很神奇。。。
每次这样的峰强度都差不多吗？如果样品表面法线没有完全垂直的话，峰会有所降低
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9楼2014-09-12 19:42:31
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zymanmanlai

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by xunmengyuan at 2014-09-11 21:34:11
会不会与硅片的择优取向有关系？...

取向问题嘛 我觉得哈 除非你是单晶片 会只出一个峰， 如果是有取向 其它峰会弱很多 但不至于不出现
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10楼2014-09-27 21:45:16
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