| 查看: 390 | 回复: 1 | |||
firstlaker金虫 (正式写手)
|
[求助]
请问简单的圆盘Pattern可以用什么做？已有1人参与
|
|
如题。我们做简单的Pattern，就是Si基片上面镀Ni金属圆盘,Ni厚度50nm左右，圆盘直径400-800 nm，间距为直径1.2倍左右，总区域大小为400um左右，请问有哪些方法可以做到。我知道的有电子束曝光系统可以实现，还有哪些方法？圆盘精度要求不是很高，几十纳米内可以接受。 可以找外面的科研院所代做吗？有哪些公司或科研机构可以做，大概价格是多少？ |
回复此楼
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2014-09-12 12:05:17