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firstlaker金虫 (正式写手)
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[求助]
请问简单的圆盘Pattern可以用什么做？ 已有1人参与
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如题。我们做简单的Pattern，就是Si基片上面镀Ni金属圆盘,Ni厚度50nm左右，圆盘直径400-800 nm，间距为直径1.2倍左右，总区域大小为400um左右，请问有哪些方法可以做到。我知道的有电子束曝光系统可以实现，还有哪些方法？圆盘精度要求不是很高，几十纳米内可以接受。 可以找外面的科研院所代做吗？有哪些公司或科研机构可以做，大概价格是多少？ |
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