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lvzezhen

新虫 (小有名气)

[求助] AZO和陶瓷氧化钛的性能 已有1人参与

大家好!我想请问采用磁控溅射AZO(陶瓷态氧化锌铝)和陶瓷态二氧化钛利用磁控溅射,有何问题?利用它们制备的膜层有何优缺点?谢谢!
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aaron5235

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
取决于你的基底,结合问题,氧量问题都要考虑
人生在世,俯仰之间,唯有追求卓越,但求尽其所能
2楼2014-09-02 13:49:38
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lvzezhen

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by aaron5235 at 2014-09-02 13:49:38
取决于你的基底,结合问题,氧量问题都要考虑

你好!谢谢解答!
请问你用磁控溅射的方法溅射过AZO或TiOx吗?溅射稳定性好吗?
3楼2014-09-02 17:58:02
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lvzezhen

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by aaron5235 at 2014-09-02 13:49:38
取决于你的基底,结合问题,氧量问题都要考虑

基底为玻璃,只是将它们用于多层膜中的一层,下面层不固定。
会有哪些影响呢?谢谢解答
4楼2014-09-04 08:03:03
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