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beihenxing

铜虫 (初入文坛)

[求助] 砷化镓GaAs外延片 大家是如何打孔的?

由于GaAs外延片很脆,为保证不碎,打孔需要很高的精确度,孔不能打透,且只需要打过外延层即可。
大家有没有做过相关方面的实验和工作,是用什么方法来解决的呢?
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