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redoo

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[求助] 求资料,那种开口连续逐级抽真空的系统 已有1人参与

求教大家,想找找关于这种真空系统的资料,即非密封下,连续逐级抽真空,最后达到CVD要求的系统。

希望了解的是,系统组成、设备参数、最大真空度、真空保持能力、系统功率等等。

谢谢!
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

楼主要求有点不明确啊 ,不好回答啊,CVD是化学气相沉积吗/
2楼2014-08-31 21:34:53
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