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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 化工设备 » 工业炉 » 求资料，那种开口连续逐级抽真空的系统
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redoo

捐助贵宾 (初入文坛)

[求助] 求资料，那种开口连续逐级抽真空的系统 已有1人参与

求教大家，想找找关于这种真空系统的资料，即非密封下，连续逐级抽真空，最后达到CVD要求的系统。

希望了解的是，系统组成、设备参数、最大真空度、真空保持能力、系统功率等等。

谢谢！
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1楼 2014-08-28 11:08:32
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

楼主要求有点不明确啊 ，不好回答啊，CVD是化学气相沉积吗/
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2楼2014-08-31 21:34:53
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