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【课件】微机电系统-微机器人
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这是上海大学微机电系统学科微机器人方向的学术报告，值得一看！ 1.4 微机器人 微机器人是在微细加工技术和微型机械电子产品基础上迅速发展起来的一个多学科交叉的前沿研究领域，是微机电系统（MEMS）的重要分支，是微机电系统发展的高级形式。 微机器人系统一般由以下四部分组成：（1）微执行器，（2）微传感器，（3）微能源，（4）控制系统. 1.5 四个组成部分的介绍 与此对应的微执行器技术、检测技术、能源供给和控制技术。 微执行器技术：按驱动方式：压电驱动、形状记忆合金（SMA）驱动、气压驱动、静电驱动、电磁驱动、热膨胀驱动、光驱动、超声波驱动等等。 检测技术：微机器人常用的传感器有视频探测器、涡流传感器、激光干涉仪、加速度传感器等等。  1.jpg  2.jpg  3.jpg [ Last edited by 唐tjg on 2014-8-24 at 19:49 ] |
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