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兴建超净室的注意事项
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xiaobuding2878
银虫
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专业: 光学
[
求助
]
兴建超净室的注意事项
已有4人参与
请教一下,将实验室改造为万级超净室,都需要关注那些问题呀?注意些什么?谢谢。
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lee0803
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1楼
2014-08-20 18:13:10
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peterflyer
木虫之王
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peterflyer
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性别: GG
专业: 功能陶瓷
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
地板、墙壁、天花板等要防潮防尘;空间要恒温恒湿(25±1℃、湿度≤50%±10%);空气过滤、循环通风量要够大;内部无烟雾产生源;人和物料进出皆通过风淋门;人员要严格穿着洁净服装;严格洁净室各项管理。
这是本人刚刚经历的一点工作体会。
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2楼
2014-08-20 21:07:24
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cord
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
周着的环境也需要注意,避免在多灰尘源附件设立。
设立多个室内外通信联络系统和紧急出口。
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3楼
2014-08-20 22:16:00
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yswyx
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
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【答案】应助回帖
有专门做超净间的公司,找专业公司做就是了。关键是把设备的接口给设计单位交代清楚,电、气管线的布置,排风的布置要有足够的预留。空调要选择有除湿功能的精密空调,功率要足够,不要怕花钱,否则将来湿度问题会搞死人的。
去找一个规范的超净实验室参观学习一下,在网上下载一些超净室工作的学习材料,比如苏州纳米所的超净间考试资料。
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4楼
2014-08-26 17:38:17
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注册: 2012-04-19
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
【答案】应助回帖
超净室一定要找专业的,要不吃大亏。我们激光器对温度敏感,夏天做实验简直害死人
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登山是登山者的墓志铭
5楼
2020-02-05 18:57:59
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