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煅烧聚合物问题 已有1人参与
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| 大家好,请问我将聚合物PS-PEO旋涂在硅片上后拿去马福炉煅烧,之后测XPS发现有碳峰存在,含量30%有的能达到,请问这个是煅烧没完全造成的吗,我设置煅烧温度有550度,时间8h升温,3h保温,按理该足够了,请大家帮忙分析下谢谢。 |
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