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buddy006

铜虫 (初入文坛)


[交流] 氮化物中载流子浓度纵向分布,

氮化物中载流子浓度纵向分布,大家都用什么办法测试啊。化学腐蚀c-v法不太适用,氮化物很难腐蚀。
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buddy006(金币+1): 谢谢参与
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5楼2014-08-10 13:08:06
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心宁

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
氮化物中载流子浓度纵向分布,大家都用什么办法测试啊。化学腐蚀c-v法不太适用,氮化物很难腐蚀。

我常常看到小妹妹用砂纸磨 哈哈  你这个问题问的很含糊呢 是掺杂的吗 若是掺杂的 可以看看SIMS 呵呵
12楼2014-08-10 15:36:38
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buddy006

铜虫 (初入文坛)


引用回帖:
12楼: Originally posted by 心宁 at 2014-08-10 15:36:38
氮化物中载流子浓度纵向分布,大家都用什么办法测试啊。化学腐蚀c-v法不太适用,氮化物很难腐蚀。

我常常看到小妹妹用砂纸磨 哈哈  你这个问题问的很含糊呢 是掺杂的吗 若是掺杂的 可以看看SIMS 呵呵

SIMS 能看掺杂,但实际上激活率,也就是产生了多少载流子测不出来。hall测的是一个平均载流子浓度,
13楼2014-08-11 14:08:02
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pzx10042楼
2014-08-10 12:13   回复  
buddy006(金币+1): 谢谢参与
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