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氮化物中载流子浓度纵向分布,
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buddy006
铜虫
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[交流]
氮化物中载流子浓度纵向分布,
氮化物中载流子浓度纵向分布,大家都用什么办法测试啊。化学腐蚀c-v法不太适用,氮化物很难腐蚀。
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1楼
2014-08-10 12:10:11
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buddy006(金币+1): 谢谢参与
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5楼
2014-08-10 13:08:06
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心宁
金虫
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帖子: 846
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虫号: 496909
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
氮化物中载流子浓度纵向分布,大家都用什么办法测试啊。化学腐蚀c-v法不太适用,氮化物很难腐蚀。
我常常看到小妹妹用砂纸磨 哈哈 你这个问题问的很含糊呢 是掺杂的吗 若是掺杂的 可以看看SIMS 呵呵
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12楼
2014-08-10 15:36:38
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buddy006
铜虫
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引用回帖:
12楼
:
Originally posted by
心宁
at 2014-08-10 15:36:38
氮化物中载流子浓度纵向分布,大家都用什么办法测试啊。化学腐蚀c-v法不太适用,氮化物很难腐蚀。
我常常看到小妹妹用砂纸磨 哈哈 你这个问题问的很含糊呢 是掺杂的吗 若是掺杂的 可以看看SIMS 呵呵
SIMS 能看掺杂,但实际上激活率,也就是产生了多少载流子测不出来。hall测的是一个平均载流子浓度,
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13楼
2014-08-11 14:08:02
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pzx1004
2楼
2014-08-10 12:13
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buddy006(金币+1): 谢谢参与
祝福
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