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hayou2013

银虫 (小有名气)

[求助] 有上海交通大学微纳米重点实验室的虫友么?想了解下你们实验室能对外做微加工么? 已有6人参与

有上海交通大学微纳米重点实验室的虫友么?想了解下你们实验室能对外做微加工么?
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blueflying2

新虫 (初入文坛)

交大AEMD平台对外开放的,有国内最高端的研究级电子束光刻(8nm),还有双束FIB和纳米压印,普Mask aligner通光刻也能做到0.7um. 另外,这个平台还配有不少薄膜沉积与刻蚀设备,用百度查查吧。
12楼2015-05-28 14:32:51
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

能对外微纳加工的单位很多啊
3楼2014-08-05 12:25:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
hayou2013: 金币+5, ★有帮助 2014-08-11 10:20:11
他们几乎不做,只对大项目合作感兴趣。
一般情况,学校都缺乏对外加工能力。
4楼2014-08-05 13:10:26
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liming0528

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
hayou2013: 金币+5, ★有帮助, 哦 这个应该一会后能用得上 2014-08-06 11:26:44
hayou2013: 金币+5, ★有帮助 2014-08-11 10:20:24
请看我们院新建的AEMD平台,据说对外开放,目前部分能做实验了。http://aemd.sjtu.edu.cn/
5楼2014-08-05 20:58:12
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