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sumholiday金虫 (小有名气)
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[求助] Al2O3薄膜沉积
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| 谁知道直流反应溅射沉积Al2O3，其沉积速度与功率和氧分压的关系，给个参考文献也行呀 谢谢 |
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 反应磁控溅射 |
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jamie82
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3楼2008-04-09 14:22:54
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