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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 刻蚀氮化硅的BOE溶液
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fishguy

银虫 (初入文坛)

[求助] 刻蚀氮化硅的BOE溶液 已有3人参与

请问刻蚀氮化硅的BOE溶液在哪里可以买到？除了BOE溶液，一般你是用什么溶液刻蚀氮化硅呢？
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1楼 2014-07-29 15:18:57
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hanjianwei

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

若是想全剥LPSIN,可以采用湿法(1)150/160摄氏度的纯磷酸剥离,大概速率为50A/min.浓磷酸是会遇到抗蚀剂吸附力的问题
(2)可以使用纯HF,速率会快一些.
若不是想全剥,而是刻蚀图形,可以使用LAM490 SF6气体.要注意的是刻蚀SIN的菜单刻蚀SI的速率是很快的,不好控制.
但是SIN一般不直接大面积的长在SI上,因为他们的膨胀系数差距较大,有应力问题,SIN与SI之间加一层SIO2缓解应力.
建议用干法
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6楼2016-01-18 11:15:40
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-08-05 22:15:07
我们这边有BOE蚀刻液，请站内联系
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2楼2014-08-05 17:44:59
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creepon

铁虫 (小有名气)
★
scu2020: 金币+1, 鼓励发帖交流求助，常来工艺技术版 2014-08-15 22:57:54
不是吧，刻蚀氮化硅可以用BOE吗？不是刻蚀氧化硅才用这个的吗？
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3楼2014-08-08 11:35:53
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
scu2020: 金币+1, 鼓励发帖交流求助，常来工艺技术版 2014-08-15 22:58:00
别听他们瞎扯，懂不懂就乱回复。氮化硅腐蚀用热磷酸！
这种问题可以直接问苏州锐材的Lee0803
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4楼2014-08-15 13:54:32
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