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fishguy

银虫 (初入文坛)

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[求助] 刻蚀氮化硅的BOE溶液已有3人参与

请问刻蚀氮化硅的BOE溶液在哪里可以买到？除了BOE溶液，一般你是用什么溶液刻蚀氮化硅呢？

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1楼 2014-07-29 15:18:57

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hanjianwei

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【答案】应助回帖

若是想全剥LPSIN,可以采用湿法(1)150/160摄氏度的纯磷酸剥离,大概速率为50A/min.浓磷酸是会遇到抗蚀剂吸附力的问题
(2)可以使用纯HF,速率会快一些.
若不是想全剥,而是刻蚀图形,可以使用LAM490 SF6气体.要注意的是刻蚀SIN的菜单刻蚀SI的速率是很快的,不好控制.
但是SIN一般不直接大面积的长在SI上,因为他们的膨胀系数差距较大,有应力问题,SIN与SI之间加一层SIO2缓解应力.
建议用干法