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¶ÏÁÑÈÍÐÔ·Ö±ð´ï500MPa ºÍ4. 3MPa•m1/ 2 ¡£¼´Ê¹Ê¹ÓÃζȸߴï 1000 ¡æÒ²ÈԿɱ£³ÖÕâһˮƽ,Ö»ÓÐÔÚζȴﵽ1300 ¡æ²Å·Ö±ð ½µÖÁ350MPa ºÍ2. 5MPa•m1/ 2 ¡£´ËÍâ,ÈÕ±¾Nagora ´óѧµÄÓ¦Óà »¯Ñ§Ïµ¿ªÕ¹µÄÀàËÆÑо¿¹¤×÷ÊÇÓñíÃæ¸ÄÐÔ¼¼ÊõÀ´ÖƱ¸ZrO2/ Ñõ»¯Î︴ºÏÌմɲÄÁÏ,·ÖÉ¢µÄÑõ»¯Îï¿ÅÁ£ÓÃÓÅÏÈË®½âµÄÍéÑõ »ùï¯Í¿¸´¡£ÕâÑù,±ã¿ÉÄÜÔÚÇòÐεĹ轺¿ÅÁ£ÉÏÐγÉÒ»¾ùÔ鵀 ZrO2 Í¿²ã¡£Í¨¹ý¿ØÖÆÈܽºµÄ¦Îµçλʹ֮¾ùÔȵķÖÉ¢ÔÚÐü¸¡Òº ÖÐ,ÕâÖÖÐü¸¡Òº¿ÉÒÔÐγɾùÔȵÄÖÂÃÜÌå,ÉÕ½áÒÔºóÄܳä·ÖµØÖ Ãܲ¢ÇÒÓоùÔȵÄÏÔ΢½á¹¹¡£ËäÈ»Èܽº¡ªÄý½º¼¼ÊõÖ÷ÒªÓÃÔÚµç ×ÓÌÕ´É·ÛÄ©µÄÖÆ±¸ÖÐ,µ«Ò²Óгɹ¦µØÓÃÓÚÖÆ±¸ÅúÁ¿µÄ·ÛÄ©¡£ ÀýÈç,°Ä´óÀûÑÇÒÑÄÜÿÅúÉú²ú100kg µÄ·ÛÄ©ÁË,·ÛÄ©µÄ±È±íÃæ »ýΪ250¡«300m2/ ¿Ë,±È¿×϶ÈÝ»ýΪ0. 22¡«0. 30cm2/ ¿Ë,ÃÜ¶È Îª2. 91¡«3. 45 ¿Ë/ ÀåÃ×3 ¡£ÔÚ1200 ¡æ,14MPa µÄѹÁ¦ÏÂ,ÉÕ½áÌå ¿É´ïµ½ÀíÂÛÃܶȵÄ99 %¡£ 2. 2 ¡¡¹²³Áµí·¨ ºÉÀ¼µÄ·ÆÀûÆÖʵÑéÊÒÎªÖÆ±¸ÌúÑõÌå·ÛÄ©²ÉÓÃÁ˳Áµí·¨¡£ ´Ë·¨ÊÇÏȽ«(Mn•Zn) Fe µÄÇâÑõ»¯ÎïÓë»ùÒº¾ùÔÈ»ìºÍ,È»ºóÔÚ Ñõ/ N2 Æø»òÏõËáÑÎÖÐÑõ»¯ÒԵõ½¿ÅÁ£³ß´çΪ0. 03¡«0. 33¦Ìm µÄ·ÛÄ©,²¢¾ßÓÐ20 %µÄ·ÖÉ¢ÂÊ¡£¿ÅÁ£³ß´ç¿Éͨ¹ýFe2 + »òFe3 + µÄÑõ»¯ËٶȽøÐпØÖÆ,µ«ÆäÐÎò¾ö¶¨ÓÚ´æÔÚµÄÑôÀë×ÓÖÖÀà,Èç Si4 + »òNa + ¡£ÖÁÓÚ·ÛÄ©µÄÌî³äÐÔÄÜÔòÓëÈÜÒºµÄpH ÖµÓйء£ ѡȡÊʵ±µÄÇâÑõ»¯Îï(ÑôÀë×ÓÀàÐÍ) ¿É»ñµÃ60 %ÀíÂÛÃÜ¶ÈµÄ ÉúÅ÷,ÓÃËĶ¡»ù°±µÄÇâÑõ»¯Îï¿É»ñµÃ×îÖÂÃܵÄÅ÷Ìå¡£¸Ã¹úAl2 fred ´óѧµÄÑо¿ÈËÔ±¿ª·¢ÁËÁíÒ»ÖÖ³Áµí¼¼ÊõÀ´ÖƱ¸¸ß±È±íÃæ »ý(´ï20m2/ ¿Ë) µÄ»îÐÔÑõ»¯îÆ,¸Ã·¨½èÖúîÆÀë×Ó¶ÔÈÜÒºÖÐ¾Û ºÏÎï÷¡ºÏ¼ÁµÄ÷¡ºÏ×÷ÓÃÀ´ÐγÉÄý½º×´µÄ³ÁµíÎï¡£¿ØÖÆ÷¡ºÏ¼Á µÄ¼ÓÈëÁ¿¼°³ÁµíÎïµÄpHÖµ,÷¡ºÏ¶È±ã¿ÉµÃµ½¿ØÖÆ,³ÁµíÎïµÄ »Ò»¯Î¶Ⱦö¶¨ÁËÑõ»¯îÆÀë×ӱȱíÃæ»ýºÍ¾§Ìå³ß´ç¡£ÎªÁË´ÓÒº ̬ÏÈÇýÎïµÄË®- ÓÍÈ黯ҺÖÐÖÆ±¸Ìí¼ÓÁËÑõ»¯îƵÄÇòÐÎZrO2 , ÊÕ¸åÈÕÆÚ:2001 - 07 - 02 ×÷Õß¼ò½é:ÌÆÉÜôÃ,ÄÐ,½ÌÊÚ ÖйúÌմɹ¤Òµ 2002 Äê6 Ô¡¡µÚ9 ¾íµÚ3 ÆÚ ¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡ CHINA CERAMIC INDUSTRY June. 2002 ¡¡Vol. 9 ,No. 3 µÂ¹úµÄFraunhofer Ñо¿Ôº·¢Õ¹ÁËÒ»ÖÖÀàËÆµÄ·½·¨,΢ÇòÄÚµÄÇâ Ñõ»¯Îï³ÁµíÓÃÀë×Ó½»»»·¨À´µÃµ½¡£Ë®µÄ¹²·ÐÕôÁóµ¼ÖÂÐγÉÇò ×´·Ç¾§Ì¬¿ÅÁ£,¾¹ýÂË¡¢¸ÉÔïºÍìÑÉÕºó±ã¿ÉµÃµ½³ß´çΪ0. 3¡« 3. 0¦ÌmµÄÎȶ¨µÄËÄ·½¾§ZrO2 ·ÛÄ©¡£ÕâÒ»¼¼Êõ¿ÉÓÃÓÚÖÆÔìBa2 TiO3 ºÍ³¬µ¼Ñõ»¯Îï·ÛÄ©,ÇÒ¾ßÓÐÁ¬ÐøÉú²ú¼°¾¼ÃµÄÓŵ㡣´Ë Íâ,¹²³Áµí·¨Ò²³É¹¦µØÓÃÓÚÖÆÔ첻ͬ×é³ÉµÄ°ë͸Ã÷ÌÕ´É¡£·¨ ¹úµÄEcole ¾ÛºÏÎï¼¼Êõ¹«Ë¾ÕýÔÚ̽ÇóÒ»ÖÖÓö¡´¼ÂÁ¼°¼×´¼ÑΡ¢ ¶¡´¼ÑÎÖ®Àà¹è´¼ÑÎѸËÙË®½âµÄ·½·¨À´ºÏ³É΢ϸµÄĪÀ´Ê¯½ºÌå ·ÛÄ©¡£ÕâÖÖÎÞ¶¨ÐνºÌå½á¹¹ÀàËÆÓڼ⾧ʯ,Æä×é³Éʽ¿É×ÛºÏ Îª3Al2O3•xSiO2•15H2O ,Ñ¹ÖÆ³É°ë͸Ã÷µÄÉúÅ÷ƬµÄÃܶÈΪ1. 7 ¡«2. 4 ¿Ë/ ÀåÃ×3 ,ÆäÌØÕ÷ÓëÓÃÒÒÍéÂýÂýË®½â·¨ÖƵõġ¢¹âѧÉÏ Çå½àµÄ¿éÌåÀàËÆ¡£ÔÚÎ÷°àÑÀµÄVidrio ÌÕ´ÉÑо¿ËùÖÐÖÆ±¸µÄÌí ¼ÓÁËÑõ»¯îïµÄËÄ·½¾§ZrO2 ÌÕ´É·ÛÄ©¾ßÓоùÔȵÄ×é³É,¿ÅÁ£³ß ´çСÓÚ0. 3¦Ìm¡£ÓÃÄý½º³ÁµíÓë·´¾ÛÄýÏà½áºÏµÄ·½·¨ÖƱ¸³öÁË ¿ÅÁ£³ß´ç¾ùÔÈ(dcp = 8. 5nm) ºÍÎÞÍž۵ĿÅÁ£,·ÛÄ©µÄÑ¹ÖÆÌå ÔÚ1400 ¡æÏ¿ÉÉÕ½á³É99. 8 %µÄÀíÂÛÃܶȵIJÄÁÏ,ºñ¶È´óÓÚ 1mmµÄ±¡Æ¬Ó벨³¤Îª300¡«800nm Ö®¼äµÄ¹âÆ×ÄÚ¾ßÓм«ºÃµÄ °ë͸Ã÷ÐÔ¡£Ôڴ˳Áµí¹ý³ÌÖÐ,Ð뽫pH ÖµÑϸñ¿ØÖÆÔÚ9 ÒÔÏÂ, ÒÔ±ãÐγɾùÔȵÄÄý½º³Áµí¡£µ±Ñõ»¯îïÔÚÏõËáÖм°ËĶ¡Ñõ´¼ï¯ ÓëÒì±û»ù´¼ÖÐÈܽâÖ®ºó,ÔÙÓÃҺ̬°±½øÐеζ¨¡£ÕâÑù,¹ýÁ¿µÄ ÏõËá±»ÖкÍ,³Áµí¹ý³Ì±ã¿ÉÍê³É¡£Æä³Áµí·ÛÄ©µÄìÑÉÕζÈÓ¦ µÍÓÚ550 ¡æ,·ñÔò¿ÅÁ£³¤´ó,±íÃæ»îÐÔÏûʧ,·ÛÄ©ÉÕ½áÐÔÄÜ´ó ´ó½µµÍ¡£ 2. 3 ¡¡ÅçÎí¡ªÈȷֽⷨ ·¨¹úµÄÑо¿Õß²ÉÓÃÅçÎí¡ªÈÈ·Ö½â·¨ÖÆ±¸µÄÑõ»¯îÆÎȶ¨µÄ ZrO2 ·ÛÄ©³ß´çΪ0. 2¡«1. 8¦Ìm(±ê׼ƫ²îΪ1. 3) ,ÇòÐοÅÁ£,ÉÔ ´øÎ¢¿×¡£¸Ã·¨Óó¬Éù²¨Îí»¯Æ÷ÔÚҺ̬Öн«ÂÈÑõ»¯ï¯ÓëÏõËáîÆ »ìºÏ,¾ÈÈ´¦Àíºó±ãÖÆµÃÁËËùÐè·ÛÄ©¡£ÈÕ±¾µÄ¹¤ÒµÑо¿ÔºÓë Ò»¼Ò¹«Ë¾ºÏ×÷¿ª·¢ÁËÒ»ÖÖÅçÎí¡ª¸ÉÔï/ ÅçÎí¡ªÈȷֽ⼼Êõ,¸Ã ¼¼ÊõÓÃÓÚÖÆ±¸Ñõ»¯Îﳬµ¼·ÛÄ©¡£ÓÃ×÷Îí»¯µÄÈÜÒºÓÐÏõËáÑΡ¢ ´×ËáÑΡ¢ÄûÃÊËáÑμ°º¬ÓвÝËáÑγÁµíÎïµÄÄཬ,ÒÔ´ËÖÆµÃµÄ·Û Ä©¿ÅÁ£³ß´ç0. 1¡«1¦Ìm ,×é·Ý¾ùÔÈ,Çҿɱ£³Ö×é³ÉµÄ»¯Ñ§¼ÆÁ¿ ÐÔ,ÉÕ½áÌåµÄÃܶȿɴïÀíÂÛÃܶȵÄ95¡«98 % ,ÇÒÉÕ½áÎÂ¶È½Ï µÍ,²¢ÄÜʹ²ÄÁϵÄÃܶÈÌá¸ß¡£ 2. 4 ¡¡Ñõ»¯ÎïµÄË®ÈÈºÏ³É Ë®ÈȺϳÉÊÇÒ»ÖÖÖÆ±¸³¬Ï¸ÌÕ´É·ÛÄ©µÄÊÊÒ˼¼Êõ,¿ÉÒÔµ¥ ¶À½øÐÐ,Ò²¿ÉÒÔÓ볬ÁÙ½é¸ÉÔï¼¼Êõ½áºÏ½øÐзÛĩ֯±¸¡£ÀýÈç, µÂ¹úµÄÑо¿ÈËÔ±²ÉÓÃÂÁ¡¢îÑÑÎË®ÈȽᾧÓë¹²³ÁµíÏà½áºÏµÄ·½ ·¨ÖƱ¸³öÁË´¿µÄºÍÎȶ¨µÄÂÁ/ îÑÑõ»¯Îï·ÛÄ©,È»ºóͨ¹ý·´Ó¦ÉÕ ½áÖÆ±¸îÑËáÂÁ¡£ÈÕ±¾¶«¾©µÄ¼¼ÊõÑо¿Ëù²ÉÓÃË®ÈȺϳÉÓë 200 ¡æ,2MPa Ìõ¼þÏÂÑÐÄ¥»ìºÏÏà½áºÏµÄ·½·¨ÖƱ¸ÁËBaFe6O12½á ¾§·ÛÄ©,Ç¿ÁҵĻìºÏ×÷ÓÃʹµÃ½á¾§ÎïµÄ¿ÅÁ£³ß´ç¾ùÔÈ,¾§Á£Ö± ¾¶Ö»ÓÐ20¡«150nm(dep Ϊ44nm) ¡£ÇòÄ¥ÓõIJ»Ðâ¸ÖÇòÖ±¾¶Îª 5mm ,תËÙΪ107 ת/ ·ÖÖÓ,½á¾§Îï¾1000 ¡æ(¿ÕÆøÖÐ) ìÑÉÕºó ¿ÉµÃµ½¾ßÓÐÁ¼ºÃ´ÅÐÔµÄBaFe6O12·ÛÄ©;·¨¹úÒ»Ñо¿ÖÐÐÄµÄ¿Æ ¼¼ÈËÔ±Ò²ÓÃÀàËÆµÄ·½·¨ÖƱ¸Ï¸Ð¡µÄ¹âÃôBi12 GeO20·ÛÄ©,Ë®ÈÈ ½á¾§Í¨¹ý¶þÖÖ·½·¨½øÐÐ:½«ÆøîéºÍÕàµÄÑõ»¯ÎïÔÚË®ÖÐÇòÄ¥ÑРĥ»òÑõ»¯ÎïÔÚË®ÖÐÒÔ1 ¸ö´óÆøÑ¹µÄÌõ¼þϼÓÈȷֽ⡣¶ÔÓÚǰ Ò»ÖÖ·½·¨,ìÑÉÕǰÑÇ΢Ã׵ľ§Ìå·ÛÄ©ÔÚÇòÄ¥¹ý³ÌÖбãÐγÉÁË, ÇòÄ¥3 Сʱºó·Ûĩδ³öÏÖÍžÛÏÖÏó,Bi12 GeO20µÄÉú³ÉµÄÁ¿È¡ ¾öÓÚÑÐĥʱ¼ä¡ª·ÛÄ©ÖÊÁ¿/ Ë®µÄÈÝ»ýÒÔ¼°ÑÐÄ¥ÌåµÄ³ß´çÅä±È ºÍ¼ÓÈëÁ¿¡£Ëæ×ÅÑÐĥʱ¼äµÄÑÓ³¤,·ÛÄ©µÄ±È±íÃæ»ýÔö´ó¡£µÚ ¶þÖÖ·½·¨ÖƱ¸µÄBi12GeO20¾§ÌåÔÚ10¡«100 ¡æµÄË®ÖÐÐγÉ,·ÛÄ© µÄ¿ÅÁ£³ß´çΪ5¦Ìm¡£ÈôÌí¼ÓËáÐÔÈÜÒº»òÓÃÈÈË®ÑÐÄ¥,·´Ó¦ËÙ ¶ÈÌá¸ß¡£ÒÔÉ«ÁС¢Èðµä¡¢ºÉÀ¼¼°µ¤ÂóËĹúµÄ¿ÆÑлú¹¹µÄÒ»ÏîÁª ºÏÑо¿¼Æ»®ÎªîÆÎȶ¨µÄÑõ»¯ï¯·ÛÄ©µÄË®ÈȺϳÉ,Ñо¿ÖƱ¸µÄ ·ÛÄ©³ß´çÖ»ÓÐ10¡«20nm¡£¶ÔÓÚÏñÈȵȾ²Ñ¹³ÉÐÍÖ®ÀàµÄһЩ ³ÉÐ͹¤ÒÕ¶øÑÔ,·ÛÄ©µÄ¿ÅÁ£³ß´ç̫СÁË,¹ÊÐè½øÐÐìÑÉÕ,ÒÔÔö ´ó¿ÅÁ£³ß´ç¡£ÏÔÈ»,Æä²»ÀûÖ®´¦ÊÇÐγɲ»Ò×Ížۡ£Îª½â¾öÕâ Ò»ÎÊÌâ,Ë®ÈȺϳɵķÛÄ©ÐèÓó¬ÁÙ½é¸ÉÔï·¨½øÐиÉÔï,Ò༴½« Á÷ÌåÓë³ÁµíÎïÖÃÓÚ¸ßѹ¸ªÖмÓÈÈÖÁÀäÄýÎïÁÙ½éµãµÄζȺÍѹ Á¦ÒÔÉÏ,È»ºó¼õµÍÖÁ³£Ñ¹,ÒÔÏû³ýëϸ¹ÜÁ¦µÄ×÷Óá£ÎªÁ˳ýÈ¥ ²ÐÓàµÄ¸ÉÔïË®·Ý,ÍùÍùÐèÒª²ÉÓøßÎÂÓë¸ßѹ,Á÷̬ÖÐÐγɵijÁ µíÎï¿ÉÓü״¼½øÐÐÏ´µÓ,ʹ֮±ä³É½¬×´Îï,ÔÙ½øÒ»²½ÔÚµÍÎÂÌõ ¼þϽ«ÓлúÈܼÁ³ýÈ¥¡£ÕâÑù,±ã¿ÉʹÓýϵͼ۸ñµÄ¸ßѹ¸ª½ø ÐÐÖÆ±¸, ÇÒ±ÜÃâÁ˸ßѹ¸ªÊܵ½¸¯Ê´×÷Ó᣻ñµÃµÄ·ÛÄ©¾ 1000 ¡æìÑÉÕºó¿É´ïµ½ÀíÂÛÃܶȵÄ97. 4 % ,²ÉÓÃÆäËû·´Íž۴ë ʩ֮ºó,1400 ¡æÉÕ½áµÄZrO2 ·ÛÄ©¿É´ï99. 5 %µÄÀíÂÛÃܶȡ£Èô ²ÉÓÃÓëÒ»°ãÈȵȾ²Ñ¹Ñ¹ÖÆZrO2 ²¿¼þÏàͬµÄ¹¤ÒÕÌõ¼þ,µÃµ½µÄ ²ÄÁϵĿ¹ÍäÇ¿¶È¸ßÓÚ1000MPa ,¶ÏÁÑÈÍÐÔ²¨¶¯ÓÚ4. 4¡«17. 4MPa•m1/ 2Ö®¼ä,ÕâÒ»±ä»¯ÏàÐÅÊÇÓÉÓÚ¹èµÄÎÛȾÒýÆðµÄ¡£ 2. 5 ¡¡·ÇÑõ»¯ÎïµÄÆøÏàºÏ³É¼¼Êõ ÆøÏàºÏ³É¼¼ÊõÓÐÁ˺ܴóµÄ½øÕ¹,ÕâÀ༼ÊõÖеĴó¶àÊýÊÇ Á¬Ðø½øÐеÄ,ÇÒÍ£Áôʱ¼äºÜ¶Ì¡£´ËÍâ,ÉÐÄܶԷ´Ó¦²úÎï½øÐмò µ¥µÄ´¿»¯¼°·´Ó¦²úÎï×î´óÏ޶ȵĻìºÏ¡£È»¶ø,¸ßη´Ó¦´øÀ´ µÄÖ÷ÒªÎÊÌâÊǶԲÄÁϵĸ¯Ê´,´ËÍâÖÆµÃµÄ·ÛÄ©µÄ½á¾§¶È²»ºÃ, ºÜÄÑѹʵ¡£¾¡¹ÜÈç´Ë,Ñо¿ÈËÔ±ÈÔÔÚ¼ÌÐø¸Ä½øÕâÒ»¼¼Êõ,²¢ÇÒ ÆøÏàºÏ³ÉÒѱ»Ö¤Ã÷ÓиߵĻØÊÕÂÊ¡£ ÒÑÓÐÈô¸ÉÖÖ̼»¹Ô¼°µÈÀë×ÓÌå·½·¨ÖƱ¸Ì¼»¯ÎïºÍÇ⻯Îï ·ÛÄ©¡£ÀýÈç,ÈÕ±¾µÄ¶«¾©¼¼ÊõÑо¿ÔºÒÔîѺÍʯīΪÆðʼÎï,²É Óõ绡·´Éä¼ÓÈȵÄ̼ÈÈ»¹Ô·¨ÖƱ¸³öÁË΢Ã׳ߴç(dcp = 1¦Ìm) µÄµª»¯îѺÍ̼»¯îÑ¡£ÓÉÓÚʹÓÃÁ˵绡·´Éä¯,·´Ó¦µÄ¼ÓÈÈʱ ¼äËõ¶ÌÁË,ζÈÏÔÖøµØ½µµÍÁË¡£ÀýÈç,µ¥ÏàTiN µÄºÏ³Éʱ¼ä²» µ½30 Ãë¡£ÔÚë²ÆøÆø·ÕÖÐ,µ¥ÏàTiC ÓÃC/ TiO2 = 3 µÄ±ÈÖµÖÆ±¸¡£ ´ËÍâ,×é³É¾ùÔȵĵ¥ÏàTiCxNy ÓÃC/ TiO2 = 2. 1¡«2. 6 µÄ±ÈÂÊÖÆ ±¸¡£ ÄÏ˹À·òµÄÑо¿ÈËÔ±Ò²ÒÔ̼ºÚºÍ¹è½ºÎªÔÁϵÄ̼ÈÈ»¹Ô ·¨ºÏ³ÉSiC ·ÛÄ©,ºÏ³Éºó¶Ô²úÎï½øÐд¦Àí,ÒÔ¼õÉÙÆäÖеÄÔÓ 3¡¡8¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡ÖС¡¹ú¡¡ÌÕ¡¡´É¡¡¹¤¡¡Òµ¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡2002 ÄêµÚ3 ÆÚ ÖÊ,Æä×îÖÕ²úÎïÖк¬Óиߴï0. 8 %µÄÓÎÀë̼¼°0. 01¡«0. 07 %µÄ ÓÎÀëÂÈ¡£½øÐпìËÙ·´Ó¦µÄζȷ¶Î§Îª1170¡«1200 ¡æ,·ÛÄ©µÄ ƽ¾ù³ß´çΪ1¦Ìm ×óÓÒ,Çҳߴç·Ö²¼·¶Î§Õ¡£ÎÞÒÉ,ΪÁ˵õ½ ÑÇ΢Ã×¼¶µÄ·ÛÄ©,·´Ó¦Î¶Ȼ¹Ó¦½µµÍ,ÓÉ´Ë´øÀ´µÄÎÊÌâÊDzúÎï µÄ²úÂʵ͡£ ¾ÛºÏÎïµÄÈÈ·Ö½âÊÇÖÆ±¸Ì¼»¯ÎïºÍµª»¯ÎïµÄÁíÒ»ÖÖ¼¼Êõ, ÈÕ±¾¸ÖÌúлáÕýÔÚÑо¿Óþ۹èÍé×÷ÖÆ±¸Si3N4 µÄǰÇýÌå,ÒòΪ ÓÃËüÄܵõ½¸ß²úÂʵÄÌÕ´É·ÛÄ©¡£ËäÈ»¸ßº¬Á¿(38 %) µÄ¾Û¹èÍé ¿ÉʹÉúÅ÷ÃܶȸߴïÀíÂÛÃܶȵÄ62 % ,µ«´ËÃܶÈÔÚ¾Û¹èÍéÈȽ⠺󲻱仯,²ÄÁÏÉÕ½áµÄÊÕËõÂÊС,¶ø»úеǿ¶ÈÓÖÀàËÆÓÚÆÕͨ·½ ·¨ÖƱ¸µÄSi3N4 ÌÕ´É¡£²»¹ý,Ñо¿·¢ÏÖ,¸ÃÐÔÄÜÈ¡¾öÓÚN2 Æø·Õ Ìõ¼þϵļÓÈÈζȡ£ µÈÀë×ÓÌå¼¼ÊõÒ²ÓÃÀ´ÖƱ¸·ÇÑõ»¯Îï·ÛÄ©,½ÏÖ®ÉÏÊö¼¼Êõ µÄÓŵãÊǿɵÍÎÂÉÕ½á,²¢ÄÜÖÆ±¸³ö¸ßÖÊÁ¿µÄ·ÛÄ©¡£ÈÕ±¾µçÆø ¹«Ë¾²ÉÓÃ¸ßÆµ¸ÐÓ¦²úÉúµÄÀë×ÓÌåÖ±½Ó½«½ðÊôµª»¯À´ÖƱ¸ AlN ,ÕâÖÖµÈÀë×ÓÑæ¿É²úÉúºÜ¸ßµÄζÈ(1000K) ,ÓÖÓÉÓÚ²»ÓÃµç ¼«,¹Ê±ÜÃâÁË×îÖÕ²úÎïµÄÎÛȾ¡£ÒÀ²Ù×÷Ìõ¼þµÄ²»Í¬,ÖÆ±¸µÄ 20¡«90nm³¬Ï¸AlN ·ÛÄ©ÖеĽðÊôÔÓÖÊСÓÚ100PPm ,·ÛÄ©ÖÐµÄ O2 ÆøÁ¿µÍÓÚ2 %¡£ 3 ¡¡½á¡¡Óï ÒÔÉÏËùÊöϵ20 ÊÀ¼ÍÄ©Ôڵ¹ú°Í·¥ÀûÑÇÕÙ¿ªµÄµÚ¶þ½ì¹ú ¼ÊÌÕ´É·ÛÄ©¿ÆÑ§Ó빤ÒÕ»áÒé·¢±íµÄÂÛÎļòÒª×ÛÊö¡£Óë»á´ú±í 270 ÓàÈË,ÆäÖеÄ70 %À´×ÔÎ÷Å·¡£´ËÍâ,ÃÀ¹úµÄ´ú±íÕ¼µ½ÁË 11 % ,ÈÕ±¾Îª5 % ,ÆäÓàÀ´×ÔÄÏÃÀ¡¢¼ÓÄô󡢰ĴóÀûÑÇ¡¢º«¹úµÈ 20 Óà¸ö¹ú¼Ò,ÎÒ¹úÒ²Óдú±í³öϯ¡£ 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