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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工程师家园 » 什么测量仪器可以精度达到0.01~0.1微米？（是精度不是分辨率哦）
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hanxinhenxue

金虫 (初入文坛)

[求助] 什么测量仪器可以精度达到0.01~0.1微米？（是精度不是分辨率哦） 已有7人参与

求助精密测量仪器，量程至少在15~20mm，误差精度要保重0.1微米以内。
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1楼 2014-07-18 13:17:40
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

dk1013

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
本科生实验中记得有一种基于迈克尔逊干涉仪的测量仪，应该能达到要求（可能需要加个类似杠杆的东西）。
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到得还来别无事 庐山烟雨浙江潮
6楼2014-07-19 17:06:47
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普通回帖

小范bairoe

木虫 (文坛精英)

应力腐蚀,SSCC（CT试样）DCP
没理解你的意思
不知道位移传感器可以吗
加入量程20mm
精度0.5个百分点
那才是10微米
不知道你怎么想的
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2楼2014-07-18 13:27:05
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hanxinhenxue

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 小范bairoe at 2014-07-18 13:27:05
没理解你的意思
不知道位移传感器可以吗
加入量程20mm
精度0.5个百分点
那才是10微米
不知道你怎么想的

我要测一个试样的体积变化，我们估算其长宽高的变化在1微米~3微米左右，不知道有没有精密的测量仪器可以准确测出这个范围的尺度。
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3楼2014-07-19 12:37:09
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315046788

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
2D影响测量仪应该是可以的，够15个字了吧!
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4楼2014-07-19 14:37:36
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20091783

版主 (职业作家)

努力的虫子

优秀版主
你是做热膨胀吗？应该有这个精度。
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5楼2014-07-19 16:54:02
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hanxinhenxue

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 20091783 at 2014-07-19 16:54:02
你是做热膨胀吗？应该有这个精度。

恩，类似于热膨胀的测量。
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7楼2014-07-21 11:11:56
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20091783

版主 (职业作家)

努力的虫子

优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
7楼: Originally posted by hanxinhenxue at 2014-07-21 11:11:56
恩，类似于热膨胀的测量。...

热膨胀的仪器精度应该够。
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8楼2014-07-21 11:51:26
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crazywjj

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

双频激光干涉仪，2m范围内能到纳米级精度
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CRAZY
9楼2014-07-21 13:51:37
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西风卷帘

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

测量精度在微米级的仪器，用测量显微镜就可以满足。Z轴可以保证2.5um，XY可以保证1.5um。如果你觉得这个精度还不够，可以考虑白光干涉仪，精度可以到0.1nm。
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10楼2014-08-28 18:54:37
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