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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 硅基AAO用ICP刻蚀，形成图形硅，需要AAO是通孔吗
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

[求助] 硅基AAO用ICP刻蚀，形成图形硅，需要AAO是通孔吗

硅基AAO，用ICP刻蚀，以求形成图形硅，硅表面的AAO需要通孔吗?望不吝赐教。
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谦虚谨慎的学习，与大家共勉！
1楼 2014-07-14 15:51:33
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