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wangzhi12.12

金虫 (小有名气)

[求助] 化学气相沉积 乙炔为气源时电离后的成分是什么啊?

我用化学气相沉积方法沉积非晶碳薄膜,不知道用乙炔为气源,在里面电离后形成的成分都是那些啊?离子?中性离子?原子团?
那位同学知道,帮帮忙啊!!!
谢谢了!!!!!!

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nanoatom

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

都有,看具体温度。
2楼2011-03-25 15:49:46
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