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微凉火海

新虫 (初入文坛)

[交流] 射频磁控溅射二氧化硅和二氧化碳靶材 已有4人参与

我是新手,想请教一下二氧化硅和二氧化碳靶材射频磁控溅射时入射功率、溅射压强应该是多少呢,还有他俩溅射在载玻片上有颜色吗,谢谢
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mokangxin

木虫 (正式写手)

二氧化碳靶材?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2014-07-09 23:35:53
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毛福祥

银虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
压强我们以前搞过2乘10的负4,二氧化硅这个功率可以搞的高一点,绝缘靶材嘛
3楼2014-07-13 10:21:24
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huihui2eat

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
第一次听说还有二氧化碳靶材呢!楼主做什么研究的呀,让我们也长长见识
4楼2014-07-14 08:49:01
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
是二氧化钛吧
薄膜颜色和厚度有关系

二氧化硅是蓝颜色的
5楼2014-07-14 10:35:54
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