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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 射频磁控溅射二氧化硅和二氧化碳靶材
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微凉火海

新虫 (初入文坛)

[交流] 射频磁控溅射二氧化硅和二氧化碳靶材 已有4人参与

我是新手，想请教一下二氧化硅和二氧化碳靶材射频磁控溅射时入射功率、溅射压强应该是多少呢，还有他俩溅射在载玻片上有颜色吗，谢谢
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1楼 2014-07-08 22:53:35
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mokangxin

木虫 (正式写手)
二氧化碳靶材？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2014-07-09 23:35:53
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毛福祥

银虫 (正式写手)
★
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压强我们以前搞过2乘10的负4，二氧化硅这个功率可以搞的高一点，绝缘靶材嘛
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3楼2014-07-13 10:21:24
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huihui2eat

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
第一次听说还有二氧化碳靶材呢！楼主做什么研究的呀，让我们也长长见识
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4楼2014-07-14 08:49:01
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
是二氧化钛吧
薄膜颜色和厚度有关系

二氧化硅是蓝颜色的
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5楼2014-07-14 10:35:54
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