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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 铝靶电流不稳定怎么回事 已有6人参与

最近在使用柱状铝靶时,问题连连,铝靶接的直流电源,电流为恒流形式:
其一. 电压低,不正常,可能是由于某地方接触,增大电压时会短路开不起来
其二. 当测量靶时,其中靶一支靶短路(一开始没有短路,开一会后就短路了),另一支靶的电流就很低了,电压很高600V以上了,正常情况应该是400V,即使比较低的电流也相当不稳定,电流跳的不停,不知道怎么回事;
其三. 增加靶电流的时候,炉内气压也增加,而且比较明显。
这三个问题今天还同时出现,咋回事啊
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01170085

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


liaofang20: 金币+1 2014-07-09 08:00:06
平面靶出现短路通常是绝缘柱没有打磨好,造成靶筒和腔室短接,你仔细检查一下。
11楼2014-07-08 18:29:00
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liaofang20

银虫 (小有名气)

没人理我,
没人遇到过这种情况吗?
2楼2014-07-05 10:01:43
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小偷爸爸

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 有帮助, 磁控溅射镀金属 2014-07-08 08:05:48
你说的是什么工艺?你这样说靶材,有很多设备都用靶材,都分不清了
3楼2014-07-07 21:30:42
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mokangxin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+2, 有帮助, 还没拆下来看,不过我这个现象跟你说的恰相反。 2014-07-08 08:06:59
liaofang20: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-07-09 07:58:56
看下磁场是否有问题,我曾经碰到过电流很小但是电压越来越高,后来发现磁场有问题导致。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2014-07-08 08:01:32
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