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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 物理化学 » 求助各位朋友，导电材料ITO薄膜用什么溶液腐蚀比较好？
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forest_wong

金虫 (正式写手)

[交流] 求助各位朋友，导电材料ITO薄膜用什么溶液腐蚀比较好？ 已有6人参与

是这样的，实验室有些ITO薄膜想要知道厚度，用台阶仪测试即可。所以想要把ITO腐蚀出一个台阶来，衬底是玻璃。但是听师兄们说ITO很难腐蚀，所以请教各位用什么溶液腐蚀ITO比较有效呢？已经找了好久，啥结果也没得到，希望大家能帮助！！
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1楼 2014-06-18 18:11:28
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ameila

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
建议用椭偏仪测厚度
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格物致知
2楼2014-06-19 09:12:11
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风雨zhe

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
电镜照个断面图 不久可以弄出来了么
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没有如果，只要不懈的的努力。
3楼2014-06-19 21:23:28
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
嗯，ITO透明，建议用椭偏，电镜也可以，非要腐蚀的话强的硝酸弄NaOH都可以啊，ITO耐强酸强碱都不好
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4楼2014-06-20 10:13:59
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ngchuanhui

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-06-20 10:13:59
嗯，ITO透明，建议用椭偏，电镜也可以，非要腐蚀的话强的硝酸弄NaOH都可以啊，ITO耐强酸强碱都不好

稀盐酸+锌粉，腐蚀速度挺快的
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5楼2014-09-05 22:56:03
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lee0803

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
市场上有ITO刻蚀液卖的，有草酸型的和王水型的。我们之前实验就用的草酸型，速度还行。
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6楼2014-10-10 11:01:53
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ganzhijian

新虫 (初入文坛)
HF酸
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7楼2015-07-30 18:09:30
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