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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU-8 2050光刻胶显影问题
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Kissy1234Smi

新虫 (初入文坛)

[求助] SU-8 2050光刻胶显影问题 已有3人参与

SU-8 2050光刻胶用超声显影15分钟，厚度约为160um左右，结构掉了一半
请问是显影时间过长的缘故吗？
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1楼 2014-06-18 10:47:15
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foreverwdp

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不需要超声，超声功率太大了，震掉了
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3楼2014-06-19 01:46:06
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
时间稍微长点，但不至于结构没了。为什么用超声？
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2楼2014-06-18 20:46:47
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zhaitaizi

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

大神，这个设备贵吗
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4楼2018-09-25 09:51:09
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zsnano

金虫 (正式写手)
你的线宽多大，工艺参数是多少，这个对后期显影非常大？脱落不是超声导致。

发自小木虫Android客户端
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5楼2018-09-25 15:25:01
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