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小背包

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] TEM中的能谱会不会很乱?什么原因造成的?

大家好。
我做透射,做了好多次,能谱结果一直很乱,会有很多意想不到的元素,不管是磨样、凹坑、离子减薄的样品,还是直接用碳膜、超薄碳膜,结果都是这样。
附图。
其中Ni、Cu、P、C是存在的。Fe的存在也可以理解。其它的元素就有点摸不着头脑了。
请问大家,你们做的TEM能谱很纯净吗?是我制样的问题,还是TEM的问题?还是本来都这样子?
TEM中的能谱会不会很乱?什么原因造成的?
EDS.jpg 基本上都如此。
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初生牛犊
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gxytju2008

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
绝对没有的元素手工去掉再说,否则这样分析意义不大的,有可能是能谱本身噪音,或者电镜啥的污染
3楼2014-06-11 09:40:45
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carefu

荣誉版主 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
多做几组样品试试吧,如果都这样,肯定是污染问题。

我们都是用SEM做EDS,因为之前听某位大牛说过,TEM的能谱并不比SEM好
4楼2014-06-11 10:46:48
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by carefu at 2014-06-11 10:46:48
多做几组样品试试吧,如果都这样,肯定是污染问题。

我们都是用SEM做EDS,因为之前听某位大牛说过,TEM的能谱并不比SEM好

eds都是一样的原理。。SEM按理说应该更麻烦,因为样品厚,尤其看很薄的薄膜一类的,底信号很强,透射要好得多,毕竟只有样品和碳膜
5楼2014-06-11 11:28:40
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