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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 原子、分子&光学 » 怎么在PDMS或者硅胶垫上旋涂光刻胶啊，求大神解答
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夏花之烂漫

新虫 (初入文坛)

[求助] 怎么在PDMS或者硅胶垫上旋涂光刻胶啊，求大神解答 已有2人参与

想做光刻，用旋涂仪涂不上啊，不知道大神们有么有其他方法，
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1楼 2014-06-10 13:34:28
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夏花之烂漫

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 浩熵 at 2014-06-10 13:44:28
根据文献上不是说用SU-8咩

我们用的S1805 ，在PDMS和硅胶垫上都涂不上，SU-8能涂在PDMS上？
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3楼2014-06-10 13:58:42
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浩熵

专家顾问 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
根据文献上不是说用SU-8咩
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2楼2014-06-10 13:44:28
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浩熵

专家顾问 (职业作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 夏花之烂漫 at 2014-06-10 14:58:42
我们用的S1805 ，在PDMS和硅胶垫上都涂不上，SU-8能涂在PDMS上？...

可以的哇~还得抽真空
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4楼2014-06-10 14:34:19
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夏花之烂漫

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 浩熵 at 2014-06-10 14:34:19
可以的哇~还得抽真空...

我们用的S-1805涂PDMS和硅胶垫上都不成膜，PDMS做的时候抽了真空了，你们是怎么做的，能详细说说么，谢谢
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5楼2014-06-10 23:25:39
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