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ccf107

铁虫 (初入文坛)

[求助] 我的ZnO纳米线怎么长成着这样了!! 已有2人参与

各位虫友,我也是采用CVD法生长ZnO,怎么就没有纳米线长出来了,不同源位置,彻底位置都试了啊。
条件是:1、硅片用HF腐蚀,清洗干净、去除氧化层。2、热蒸发生长10nm左右Au膜。然后放入管式炉生长。3、源采用ZnO粉+C粉,通N2或N2+O2.
4、调整衬底与源位置,生长时间90分钟,温度850-950C都试了。管式炉是科晶生产的,最高温度1100C。

我的ZnO纳米线怎么长成着这样了!!
cai1_m001.jpg


我的ZnO纳米线怎么长成着这样了!!-1
cai2_m006.jpg


我的ZnO纳米线怎么长成着这样了!!-2
cai3_m003.jpg
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Athingofbeautyisajoyforever
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我是邓邓

金虫 (小有名气)

第二张好稀疏的赶脚,第一张和第三张确定是纳米线吗?

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-06-09 16:54:01
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
CVD法生长纳米线好像需要好的催化剂吧,比如碳纳米管的CVD就是这样。因此是否是催化剂存在问题呢?另外,第二张图片中的纳米线似乎是空心的,否则如此曲率的弯曲会断裂的。
3楼2014-06-09 20:55:00
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sunshine61

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
之前我也遇到过这种情况,但再长的时候就好了你是每次都长成这样试了很多次吗
4楼2014-06-10 15:27:18
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ccf107

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by sunshine61 at 2014-06-10 15:27:18
之前我也遇到过这种情况,但再长的时候就好了你是每次都长成这样试了很多次吗

对啊,我再想是不是把Si表面的氧化层去掉了,Au膜在Si表面的形貌不同了。你们在长ZnO时,Si片经过处理吗?
Athingofbeautyisajoyforever
5楼2014-06-10 18:05:28
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ccf107

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 我是邓邓 at 2014-06-09 16:54:01
第二张好稀疏的赶脚,第一张和第三张确定是纳米线吗?

PL光谱上能测到ZnO的信号,但肯定不是纳米线,变成薄膜了
Athingofbeautyisajoyforever
6楼2014-06-10 18:07:01
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sunshine61

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by ccf107 at 2014-06-10 18:05:28
对啊,我再想是不是把Si表面的氧化层去掉了,Au膜在Si表面的形貌不同了。你们在长ZnO时,Si片经过处理吗?...

只是洗一下不腐蚀
7楼2014-06-11 11:34:41
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ccf107

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by sunshine61 at 2014-06-11 11:34:41
只是洗一下不腐蚀...

o,可能这上面的问题了,再试一下
Athingofbeautyisajoyforever
8楼2014-06-11 16:41:05
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youni1314

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by sunshine61 at 2014-06-10 15:27:18
之前我也遇到过这种情况,但再长的时候就好了你是每次都长成这样试了很多次吗

请问下你当时的问题怎么解决的?

发自小木虫Android客户端
9楼2017-05-27 00:03:17
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