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babyoflion

金虫 (著名写手)

[交流] 如何避免球形刨面呢,我需要上面开口大下面开口小的结构,而不是弧形的

图中所示的 如何避免这种弧形的结构出现,即上表面好像有个盖子一样盖住额部分,而不是上面宽往下越窄

如何避免球形刨面呢,我需要上面开口大下面开口小的结构,而不是弧形的
截面出现球形刨面
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2014-06-09 15:49:24
上KOH腐蚀Si100面

那样的话腐蚀的结构的深宽比能达到多少呢
?而且我这是光刻胶,作为掩蔽层的话好像还不行,后面又要做其他掩蔽层
3楼2014-06-09 20:36:42
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
babyoflion: 金币+2 2014-06-11 13:20:59
上KOH腐蚀Si100面
2楼2014-06-09 15:49:24
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babyoflion

金虫 (著名写手)

忘记说结构材料了,这个是光刻后的光刻胶图案,正性光刻胶!现在想做出来没有弧形的刨面,求助大家!
4楼2014-06-09 20:42:55
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babyoflion

金虫 (著名写手)

怎么没人回复啊,很急的啊 大家都没遇到相似的问题吗
5楼2014-06-10 18:14:35
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