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yishuiqing

铜虫 (小有名气)

[求助] 关于悬臂梁力学传感器的标定问题? 已有1人参与

设计了一种悬臂梁力学传感器,现在想对悬臂梁弯曲的作用力进行标定,在网上搜的文献中有用NIST的静电力平衡装置标的,也有用天平标定的,哪位大牛能给指个标定的可行方向,另外这种mems传感器能否去计量院进行标定?万分感谢啦!
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静静一yi

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静静

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感谢参与,应助指数 +1
楼主是用SOI做的,还是用硅片做的啊,可以标定啊~~用精密天平,或者天平称~
15501697107
2楼2014-06-09 19:03:35
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静静一yi

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静静

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楼主需要SOI,硅片可以联系我~
15501697107
3楼2014-06-09 19:04:07
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