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nano231铁杆木虫 (正式写手)
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[求助]
SEM的ED 面扫 点分辨原理和点分析精度 已有1人参与
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rt。 用SEM（FEI）的EDS（Bruker）面扫功能测定3-20微米尺寸的球形样品的元素分布，结果发现颗粒和背景的边界清晰，而目标元素均呈均匀分布状态。但是实验室同学认为，EDS mapping的点分辨率比较低（他认为大于500nm），所以不能仅凭该结果就下结论。 故，想了解下，SEM-EDS mapping的点分辨原理具体是什么，而点分辨率大致是多少？考虑到不同仪器各有不同，希望各位虫友结合所用设备谈谈自己的经验。 |
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gxytju2008
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
nano231: 金币+50, ★★★很有帮助 2014-06-09 15:34:53
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| 上图看看，看参数设定，聚焦点x,y向大概几个nm没有问题，主要问题是z向，eds信号作用深度有一个微米以上的，所以你拿到的不是表面这个nm级别的分辨率的，尤其对于扫描eds，mapping就是电子激发x射线啊，也是一个点一个点采谱然后根据元素特征峰强度对每个点作图得到的 |
2楼2014-06-06 17:19:22
