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xdcmy2006

新虫 (初入文坛)

[求助] BCB上sputter的ITO,退火后裂是什么原因? 已有1人参与

应该不是升温速度的原因。
有人用过BCB吗?都是什么过程完全固化的啊?
ITO想400度退火15分钟,怎么能不裂啊。。
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chenf0358

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是bcb上溅射一层ITO,然后进行退火处理吗?
bcb硬处理过程:
1. 5分钟内升温到50度,恒温5分钟;
2.15分钟内升温到100度,恒温15分钟;
3.15分钟内升温到150度,恒温15分钟;
4.60分钟内升温到250度,恒温60分钟;
5.自然冷却

你退火温度太高了吧,bcb的tg大于350度,考虑300度退火试一试
bcb硬处理之后溅射ITO,
2楼2014-06-03 11:25:08
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